超精密加工机床 250UPL v2（ Moore Nanotech 250 UPL）

标准配置X/Z两个直线轴，可以选配C轴、B轴或者Y；最多同时配置四轴（X/Z/CB或者X/Z/C/Y）

产品参数

  • 产品参数

  • 最大加工范围

    350mmx200mm

  • 编程分辨率

    线性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001°

  • 主轴转速

    50至10,000rpm（双向）

  • 主轴精度

    轴向：12.5nm 径向：12.5nm

  • 加工精度

    面型精度 (P-V):≤0.1μm/ 表面粗糙度 (Ra)≤2.0nm

  • 驱动

    油静压导轨、直线电机

  • 选配

    C轴：用于加工非回转对称的形状

  • 选配

    B轴：用于实现法向跟踪的加工方式

  • 选配

    恒温空调：控制精度±0.1°C

  • 选配

    低频空气隔震阻尼系统：用于阻尼2-10Hz低频震动

  • 选配

    慢刀伺服：需要配备C轴，实现非回转对称加工

  • 选配

    快刀伺服：需要配备C轴，最大加速度5G，最大总行程6000μm，大幅提升非回转对称面型产品加工效率

产品介绍

• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于 12.5 纳米，C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒；

• 业界先进的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率 8.4 皮米；

• 整体式复合大理石床身结构，紧凑型空间设计，低频空气隔震阻尼系统（用于阻尼2-10Hz低频震动），提高热稳定性和减震性；

• 全约束式油静压导轨，提供平滑、高刚性和高减震能力的线性运动性能；