超精密自由曲面加工机床 650FGv2（ Moore Nanotech 650 FG）

标准配置X/Y/Z三个直线轴，可以选配C/B/A三个回转轴最多可同时配备六轴（X/Y/Z/C/B/A）

产品参数

  • 产品参数

  • 最大加工范围

    650x300mm

  • 编程分辨率

    线性分辨率 0.01nm/ 角度分辨率 0.0000001°

  • 主轴转速

    50~10,000rpm（双向）

  • 主轴精度

    轴向：≤12.5nm 径向 ≤12.5nm

  • 加工精度

    面型精度（P-V):0.15 μm/表面粗糙度（Ra）：3.0nm

  • 驱动

    油静压导轨、直线电机

  • 选配

    C轴：用于加工非回转对称的形状

  • 选配

    B轴：用于实现法向跟踪的加工方式

  • 选配

    磨削（铣削）头：用于磨削加工或者铣削加工

  • 选配

    动平衡仪：专门用于测量磨削头在装配砂轮后的跳动

  • 选配

    恒温空调：控制精度±0.1°C

  • 选配

    低频空气隔震阻尼系统：用于阻尼2-10Hz低频震动

  • 选配

    慢刀伺服：需要配备C轴，实现非回转对称加工

  • 选配

    快刀伺服：需要配备C轴，最大加速度5G，最大总行程6000μm，大幅提升非回转对称面型产品加工效率

产品介绍

• 适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服（旋转式）进行自由曲面加工，栅格飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工；

• 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 – 全转速范围内主轴跳动小于12.5 纳米，C 轴反馈分辨率为 0.01 弧秒；

• 业界领先的激光全息线性光栅尺，反馈分辨率 8 皮米；

• 标准加工口径 650mm，可定制更大加工口径；

• 低频空气隔震阻尼系统（用于阻尼2-10Hz低频震动），全约束式油静压导轨，X 轴行程 350mm，Z 轴行程300mm，Y 轴垂直行程 150mm；